Оборудование для пробоподготовки микроэлектронных образцов TargetSystem

  • Используется для автоматической подготовки до любых видимых или скрытых целей или дефектов — например, микротрещин, включений и пор, слоев окислов, покрытий. Система позволяет производить снятие слоя материала определенной толщины в автоматическом режиме.

    Система включает:

    TargetMaster — состоит из полировальной станции, станции очистки и сушки, станции лазерного измерения;
    TargetDoser — устройство для автоматического дозирования полировальных суспензий, блок управления и хранения методов подготовки;
    TargetZ — устройство для установки уровня снятия материала до видимой границы;
    TargetX — устройство для установки уровня снятия материала до невидимой границы.

    Основные преимущества:

    • Модульная конструкция обеспечивает возможность адаптации под меняющиеся потребности.
    • Встроенная измерительная система с двумя лазерами.
    • Отслеживание в реальном времени видимых (внешних) и скрытых (внутренних) целей.
    • Автоматическая подготовка, очистка и измерение.
    • Значительное сокращение времени подготовки (< 30 минут).
    • Отсутствие зависимости от навыков оператора.
    • Полная воспроизводимость результатов.

There are no reviews yet.

Be the first to review “Оборудование для пробоподготовки микроэлектронных образцов TargetSystem”